特許
J-GLOBAL ID：200903018122197087
エッチング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-086580
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284470
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 最適なエッチング終了点を得る。【解決手段】 エッチング室内のプラズマ放電によるエッチング特有のエッチング開始後の不安定領域R1、安定領域R2、下降領域R3および平坦領域R4を順次もつ特性曲線の信号を光電変換器によって検出し、安定領域から下降領域に移る変化開始点T2を求め、前記信号の下降領域から平坦領域に移るときの終点検出点T3を求めて、これらの時間差に基づいてエッチング終了時間T4を決定する。
請求項（抜粋）：
被エッチング対象物を設置しプラズマ放電による活性ガスによりエッチングするエッチング室と、このエッチング室内で生ずるプラズマ放電により発生する電磁波を検知する光電変換器と、この光電変換器の出力からプラズマエッチング開始後の不安定領域、安定領域、下降領域および平坦領域を順次もつ特性曲線の信号を得る手段と、前記信号の前記安定領域から下降領域に移る変化開始点を求める手段と、前記信号の下降領域から平坦領域に移るときの終点検出点を求める手段と、前記変化開始点および前記終点検出点の時間間隔に基づいてエッチング終了時間を決定する手段とを具備してなるエッチング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
