特許
J-GLOBAL ID：200903018132625656
波長可変半導体発光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335825
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188497
出願日： 1992年12月16日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】 小形で安価、且つ、高性能な波長可変光源としての波長可変半導体発光装置を提供する。【構成】 外部ミラー13とマイクロアクチュエータ19を構成する可動梁14及び固定櫛形部18とを半導体レーザ12が搭載された基板11上に形成するハイブリッド型か、また、半導体レーザ32と外部ミラー33とマイクロアクチュエータ49を構成する可動梁34及び固定部35とを同一の基板31上に形成するモノリシック型に構成する。
請求項（抜粋）：
半導体レーザと、外部ミラーと、該外部ミラーを前記半導体レーザ光軸方向に駆動するマイクロアクチュエータとを有する波長可変半導体発光装置において、前記外部ミラーと前記マイクロアクチュエータとが前記半導体レーザを搭載した基板上に形成されていることを特徴とする波長可変半導体発光装置。
IPC (2件)：
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