高電圧発生用スイッチング回路

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長澤俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-318946
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134818
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】【課題】絶縁部材を介して金属性のプレート上に配置された複数の半導体スイッチに高繰り返し周波数の高圧電圧を印加した際、各半導体スイッチに印加される電圧を均等に振り分け、半導体スイッチの破損を防ぐこと。【解決手段】直列に接続された半導体スイッチSW1〜SW6の放熱用の金属板3は絶縁部材2を介して金属性の水冷プレート1上に置かれる。各半導体スイッチSW1〜SW6の端子間にはバランス抵抗R1〜R6が接続される。また、上記金属板3-絶縁部材2-水冷プレート1に生ずる寄生容量により各半導体スイッチSW1〜SW6に不均一な電圧が加わるのを防ぐため、各半導体スイッチSW1〜SW6にコンデンサCa2〜Ca6を接続する。これにより、バランス抵抗R2〜R6に流れる電流をほぼ等しくし、半導体スイッチSW1〜SW6にかかる電圧を均一化することができる。

請求項（抜粋）：

直列に接続された複数のスイッチング素子を有するスイッチ回路と、このスイッチ回路の出力端に接続された磁気圧縮回路と、この磁気圧縮回路の出力端に接続された一対の主放電電極とを有する放電励起ガスレーザ装置に用いられる高電圧発生用スイッチング回路であって、上記複数のスイッチング素子は、その底面に放熱用の金属板を有し、該金属板は接地された金属性のプレート上に絶縁部材を介して配置され、上記複数のスイッチング素子の各々の端子間にはバランス抵抗が並列に接続されており、上記各々のバランス抵抗には、コンデンサが接続され、上記コンデンサにより、各スイッチング素子と上記絶縁部材と上記金属性のプレートにより形成される寄生容量に流れる電流が上記バランス抵抗に流れないようにバイパスし、各々のバランス抵抗に流れる電流を等しくしたことを特徴とする高電圧発生用スイッチング回路。

IPC (3件)：

H01S 3/097 , H01S 3/041 , H02M 9/04

FI (3件)：

H02M 9/04 Z , H01S 3/097 A , H01S 3/04 G

Fターム (21件)：

5F071AA06 , 5F071GG02 , 5F071GG05 , 5F071JJ05 , 5F071JJ07 , 5F072AA06 , 5F072GG02 , 5F072GG05 , 5F072JJ05 , 5F072JJ07 , 5F072SS06 , 5F072TT01 , 5F072TT25 , 5H790BA02 , 5H790CC01 , 5H790CC06 , 5H790DD06 , 5H790EA01 , 5H790EA03 , 5H790EA15 , 5H790KK00

前のページに戻る