特許
J-GLOBAL ID：200903018142791791
誘導プラズマ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-040290
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029099
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】本発明は、プラズマを用いる装置において、プラズマ炎中に液状物を供給することを特徴とする誘導プラズマ装置を提供することにある。【構成】液状物を供給する供給管とガス供給管とを合わせ持つ多重管構造の原料供給ノズルをプラズマ炎中に挿入し、プラズマ炎の安定を保ったままプラズマ炎に液状物を供給することを特徴とする誘導プラズマ装置。
請求項（抜粋）：
プラズマを用いる装置において、液状物を供給する供給管とガス供給管とを合わせ持つ多重管構造である原料供給ノズルをプラズマ炎中に挿入し、プラズマ炎中に液状物が供給されることを特徴とする誘導プラズマ装置。
IPC (2件)：
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