特許

J-GLOBAL ID：200903018143283242

アレイ基板及びその製造方法

発明者： 上園 重広
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 蔦田 璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224589
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051297
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 平面表示装置用のアレイ基板及びその製造方法において、マスクパターンの位置合わせズレに起因する容量変動や開口率の低下を防止することができ、大型かつ高精細の平面表示装置にあっても良好な表示特性を確保できるものを提供する。【解決手段】逆スタガ・バックチャネル型のTFT7を形成する製造方法にあって、TFT7の半導体膜26、低抵抗半導体膜27、ソース電極23及びドレイン電極22を形成するための島状のパターンを一括して形成する。これを覆う平坦化膜4には、TFT7のバックチャネル部55相当個所を露出させるスルーホール41を設けておく。そして、平坦化膜4上に画素電極52等のITO膜パターンを形成した後、これに用いたレジストパターン、またはITO膜パターンそのものをマスクとしたエッチングにより、谷溝状のバックチャネル部55を形成し、TFT7を完成させる。以上の方法によりパターニング数を少なくできる。

請求項（抜粋）：

基板上に略平行に配列される複数の走査線と、これに略直交する複数の信号線と、マトリクス状に配列される複数の画素電極と、これら画素電極ごとに配置されるスイッチング素子としての薄膜トランジスタを備え、前記走査線、及び前記薄膜トランジスタのゲート電極を含む下層配線パターンと、この下層配線パターンを被覆する第1絶縁膜と、この第1絶縁膜を介して前記ゲート電極上に配置される、前記薄膜トランジスタの半導体膜と、前記信号線、及び前記薄膜トランジスタのソース及びドレイン電極を含む上層配線パターンと、少なくとも前記薄膜トランジスタを覆う第2絶縁膜と、この第2絶縁膜を貫き前記画素電極を前記ソース電極に電気的に接続するソース電極上のスルーホールとを備えた、アクティブマトリクス型平面表示装置用のアレイ基板において、前記ソース電極の端面と前記ドレイン電極の端面との間の領域で前記半導体膜を露出させるバックチャネル部と、前記第2絶縁膜を貫き前記バックチャネル部に連続する、バックチャネル部のスルーホールとを備えることを特徴とするアレイ基板。

IPC (7件)：

G02F 1/1365 ,  G09F 9/30 ,  G09F 9/30 332 ,  G09F 9/30 348 ,  G09F 9/30 349 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (7件)：

G02F 1/136 500 ,  G09F 9/30 C ,  G09F 9/30 332 A ,  G09F 9/30 348 A ,  G09F 9/30 349 A ,  H01L 29/78 619 A ,  H01L 29/78 627 A

Fターム (76件)：

2H092GA17 ,  2H092GA25 ,  2H092GA29 ,  2H092HA28 ,  2H092JA24 ,  2H092JA37 ,  2H092JA39 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092JB22 ,  2H092JB31 ,  2H092JB58 ,  2H092JB69 ,  2H092KA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA12 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA29 ,  2H092NA01 ,  2H092NA07 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092PA01 ,  2H092PA08 ,  5C094AA03 ,  5C094AA05 ,  5C094AA10 ,  5C094AA14 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA48 ,  5C094AA55 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094DA13 ,  5C094DB04 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094EA10 ,  5C094EB02 ,  5C094ED02 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB14 ,  5C094FB15 ,  5C094GB10 ,  5F110AA18 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE14 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF09 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HM18 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ01 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ19