特許

J-GLOBAL ID：200903018146613936

感湿素子

発明者： 伊丹 正登
出願人/特許権者： エヌオーケー株式会社
代理人 (1件)： 吉田 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-038523
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203606
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【構成】 ガラスプレート面上に形成させたくし形電極の表面に、N,N,N ́,N ́-テトラメチルエチレンジアミン-臭化メチレンの混合物プラズマ重合膜を形成させ、この感湿性プラズマ重合膜上に非シリコン系フォトレジストをスピンコートし、ベーキング処理を行って保護膜を形成させる。【効果】 従来提案された窒素非含有有機けい素化合物や炭化水素のプラズマ重合膜あるいはシリコンコーティング剤のベーキング処理膜よりなる保護膜に代えて、非シリコン系フォトレジストのベーキング処理膜を保護膜とすることにより、感湿性プラズマ重合膜を有する感湿素子の特徴を損なうことなく、高温条件下での安定性を確保することを可能とさせる。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に形成させた導電性くし形電極の表面を覆った感湿性プラズマ重合膜を、非シリコン系フォトレジストのベーキング処理膜で被覆してなる感湿素子。