特許
J-GLOBAL ID：200903018149868811
光偏向器
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-400664
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202474
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：
【要約】【課題】 ミラー部の共振揺動周波数を可変できる光偏向器を提供する。【解決手段】 ミラー部2と、このミラー部2の重心を通る揺動軸に沿って、ミラー部2に一体的に形成された一対の弾性支持ビーム3と、この一対の弾性支持ビーム3を保持する基板5と、ミラー部2に所定の励振周波数を供給して揺動させる振動手段14、15とを備えた光偏向器13であって、一対の弾性支持ビーム3のそれぞれを拘束してミラー部2に一体的に形成された一対の弾性支持ビーム3の固有弾性定数を変化させるビーム拘束手段7と、ビーム拘束手段7の拘束状態を制御する制御部16、17、18とを有し、ミラー部2を駆動する共振揺動周波数を可変とした。
請求項（抜粋）：
ミラー部と、このミラー部の重心を通る揺動軸に沿って、前記ミラー部に一体的に形成された一対の弾性支持ビームと、この一対の弾性支持ビームを保持する基板と、前記ミラー部に所定の励振周波数を供給して揺動させる振動手段とを備えた光偏向器であって、前記一対の弾性支持ビームのそれぞれを拘束して前記ミラー部に一体的に形成された前記一対の弾性支持ビームの固有弾性定数を変化させるビーム拘束手段と、前記ビーム拘束手段の拘束状態を制御する制御部とを有し、前記ミラー部を駆動する共振揺動周波数を可変としたことを特徴とする光偏向器。
Fターム (3件)：
2H045AB06
, 2H045AB10
, 2H045AB38
