特許
J-GLOBAL ID：200903018163928207
処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048541
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244143
出願日： 1993年02月15日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】 温度調整用ヒータに熱衝撃等に強い窒化アルミニウムを絶縁体として用いた処理装置を提供する。【構成】 処理容器4内に、チャック部22と冷却手段16を有する載置台8を収容してなる処理装置において、チャック部と冷却手段16との間に伝達する冷熱を調整する温度調整用ヒータ52を設け、このヒータの絶縁体56として熱衝撃に強い窒化アルミニウムを用い、この絶縁体を破壊することなくチャック部に吸着する被処理体Wの急激な温度変化を可能ならしめる。
請求項（抜粋）：
処理容器内に、上部に被処理体を吸着保持するチャック部を有すると共に下部に前記被処理体を冷却する冷却手段を有する載置台を収容してなる処理装置において、前記チャック部と前記冷却手段との間に、前記被処理体へ供給される冷熱を調整するために窒化アルミニウムを絶縁体として用いた温度調整用ヒータを設けたことを特徴とする処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/302
, C23C 14/34
, C23F 4/00
, H01L 21/68
, H01L 21/203
