特許
J-GLOBAL ID：200903018173146436
キャリアカセット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163035
公開番号（公開出願番号）：特開平7-017589
出願日： 1993年07月01日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハの洗浄時の洗浄効果と乾燥時の乾燥効果とを向上させるキャリアカセットを提供する。【構成】 キャリアカセット1の枠組みである本体2と、ウェーハ5を仕切る仕切り板3とから構成され、前記仕切り板3に凸状のウェーハ保持手段4が設けられるものである。前記ウェーハ保持手段4は、フッ素樹脂などからなる半球状のものであり、ウェーハ5を両面から保持できるように、前記仕切り板3の両面に設けられるものである。
請求項（抜粋）：
ウェーハの洗浄時や乾燥時に、前記ウェーハを収容するキャリアカセットであって、前記キャリアカセットの枠組みである本体と、前記ウェーハを仕切る仕切り板とから構成され、前記仕切り板の該ウェーハとの接触部に凸状のウェーハ保持手段が設けられることを特徴とするキャリアカセット。
IPC (4件)：
B65D 85/57
, B65D 85/00
, H01L 21/304 341
, H01L 21/68
