特許
J-GLOBAL ID：200903018182309011
マルチワイヤソー用多溝ローラ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061102
公開番号（公開出願番号）：特開平5-220732
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】マルチワイヤソーの溝ローラの熱変形を防止し、平坦度の良好な製品ウエハを得ること。【構成】マルチワイヤソーの溝ローラを構成する部品のうち、溝付スリーブを外嵌する筒状ホルダ、該ホルダを支持する回転軸、筒状ホルダと回転軸を軸方向に固定する芯棒、または筒状ホルダを回転自在に支持する固定軸をそれぞれ線膨張係数の小さいインバーやスーパーインバー製とする。
請求項（抜粋）：
外周にリング状の溝を所定のピッチで形成したスリーブと、該スリーブを外嵌する筒状ホルダと、該ホルダを支持する回転軸と、該回転軸と前記ホルダを軸方向に固定する芯棒とで構成され、前記筒状ホルダ、回転軸および芯棒がそれぞれ線膨張係数の小さい材料からなることを特徴とするマルチワイヤソー用多溝ローラ。
IPC (2件)：
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