特許
J-GLOBAL ID：200903018189645742
平坦化研磨における研磨後の段差予測方法およびダミーパターン配置方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298291
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144635
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 平坦化研磨において研磨後の段差予想およびダミーパターンの配置を効率良く行うこと。【解決手段】 本発明は、予め、基板上に形成した所定段差から成るテストパターンを用いてこのテストパターンの段差密度と所定条件での研磨後の絶対段差1l〜1nとの関係を求めておき、予測対象となるパターンの段差密度を計算して、この段差密度の計算結果に対応するテストパターンの段差密度と所定条件での研磨後の絶対段差1l〜1nとの関係に基づき測対象となるパターンの研磨後の段差さを求める方法であり、段差密度の計算結果と所定のしきい値との比較に基づき予測対象となるパターンの周辺にダミーパターンを配置するか否かを決定する方法である。
請求項（抜粋）：
予め、基板上に形成した所定段差から成るテストパターンを用いて該テストパターンの段差密度と所定条件での研磨後の段差との関係を求めておき、予測対象となるパターンの段差密度を計算して、該段差密度の計算結果に対応する前記テストパターンの段差密度と所定条件での研磨後の段差との関係に基づき該予測対象となるパターンの研磨後の段差を求めることを特徴とする平坦化研磨における研磨後の段差予測方法。
引用特許：
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