特許
J-GLOBAL ID：200903018190067914
恒温装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-281414
公開番号（公開出願番号）：特開平8-117619
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：
【要約】【目的】 大容量の恒温槽に対応できる低価格の恒温装置を提供する。【構成】 恒温槽1と、熱交換器4および加熱ヒーター5を内蔵した熱交換タンク2と、冷却装置6を備えた冷水タンク3で構成し、前記恒温槽1内の液体を前記熱交換タンク2内へ循環させる型式の恒温装置において、前記恒温槽1の出口1aと前記熱交換器4の入口4aとを循環ポンプ7を備えた供給ライン8で接続するとともに、前記熱交換器4の出口4bと前記恒温槽1の入口1bとを温度センサ9を備えた還流ライン10で接続し、前記熱交換タンク2の上部と前記冷水タンク3の上部を連結管11で接続するとともに、前記熱交換タンク2の下部と前記冷水タンク3の下部とを循環ポンプ12を備えた回路13で接続した構成。
請求項（抜粋）：
恒温槽1と、熱交換器4および加熱ヒーター5を内蔵した熱交換タンク2と、冷却装置6を備えた冷水タンク3で構成し、前記恒温槽1内の液体を前記熱交換タンク2内へ循環させる型式の恒温装置において、前記恒温槽1の出口1aと前記熱交換器4の入口4aとを循環ポンプ7を備えた供給ライン8で接続するとともに、前記熱交換器4の出口4bと前記恒温槽1の入口1bとを温度センサ9を備えた還流ライン10で接続し、前記熱交換タンク2の上部と前記冷水タンク3の上部を連結管11で接続するとともに、前記熱交換タンク2の下部と前記冷水タンク3の下部とを循環ポンプ12を備えた回路13で接続したことを特徴とする恒温装置。
IPC (3件)：
B01L 11/02
, C23F 1/08 101
, H01L 21/306
