特許
J-GLOBAL ID：200903018193042327
検査システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-121011
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281195
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 テスタとプローブ装置とはケーブルを介して接続されているため、半導体ウエハの高集積化、LCD用基板の高精細化に伴ってケーブルの使用本数が増加してケーブル束が著しく太く、重量化し、その取り扱いが面倒になる。従って、プローブカード等の接触子を交換する場合には、テストヘッドを装置本体から退避させる操作が面倒であり、しかもケーブルでの電気ロス(エネルギーロス)が増大する。また、ケーブルの使用本数が増加すればするほどテスタとプローブ装置の配置がケーブルによって制限され、配置の自由度が低下す。【解決手段】 本検査システムは、テスタ10に第1通信手段11を設けると共にプローブ装置20に第2通信手段21を設け、第1、第2通信手段11、21を介してテスタとプローブ装置20との間で検査情報信号の多重通信を行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
テスタと検査装置との間で検査情報信号を授受して被検査体の電気的特性検査を行う検査システムにおいて、上記テスタに第1通信手段を設けると共に上記検査装置に第2通信手段を設け、第1、第2通信手段を介して上記テスタと上記検査装置との間で上記検査情報信号の通信を行うことを特徴とする検査システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/28 H
, H01L 21/66 B
