特許
J-GLOBAL ID：200903018195946371
荷電粒子ビームシステムにおけるビーム自動化
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小橋 一男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-060892
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277043
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 荷電粒子ビームシステムにおけるフォーカシング、コントラスト設定、非点収差補正を高精度で、高信頼性で且つ高再現性を持って自動的に処理する技術を提供する。【解決手段】 本発明によれば、自動焦点、自動コントラスト、x及びyの両方の方向における非点収差の自動補正は、フォーカス誘起型イメージ回転、サンプル特徴部オリエンテーション及びイメージ変形、フォーカス誘起型イメージ倍率変化と独立的なものであり、且つ種々の種類のノイズに影響を受けることはない。不良なイメージコントラストは自動コントラスト能力によって取扱われる。本発明によれば、従来技術と比較して処理が高速であり高い信頼性及び再現性を達成することが可能である。
請求項（抜粋）：
サンプルのフォーカスしたイメージを採取するためにフォーカスト粒子ビームカラムのパラメータを設定する自動化方法において、(a)前記カラムを整合させ、(b)前記イメージにおけるフォーカス回転中心を持った前記サンプルのイメージを採取し、(c)イメージのコントラストを設定し、(d)カラムのフォーカスを設定する、ことを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/153 B
, H01J 37/21 B
