特許

J-GLOBAL ID：200903018206017467

圧電部材の製造方法

発明者： 今枝 美能留 ,  吉野 隆史 ,  加藤 賢治 ,  相馬 隆雄
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323934
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163779
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】圧電単結晶の母材から所定の圧電部材を形成するのに際して、圧電部材の加工精度を保持しつつ、圧電部材を量産しうる加工方法を提供する。【解決手段】圧電単結晶からなる母材に対してレーザー光を照射し、光化学的な反応によって母材の分子を解離および蒸発させ、母材から圧電単結晶を除去加工するのに際して、圧電単結晶の光吸収領域を長波長側にシフトさせる処理を圧電単結晶に対して施す。好ましくは、圧電単結晶中に遷移金属元素を30ppm以上、5重量%以下添加することによって、または、圧電単結晶を酸素濃度3%以下の雰囲気中で熱処理することによって、圧電単結晶の光吸収領域を長波長側にシフトさせる。

請求項（抜粋）：

圧電単結晶からなる圧電部材の製造方法であって、前記圧電単結晶からなる母材に対してレーザー光を照射し、光化学的な反応によって前記母材の分子を解離および蒸発させ、前記母材から前記圧電単結晶を除去加工するのに際して、前記圧電単結晶の光吸収領域を長波長側にシフトさせる処理を前記圧電単結晶に対して施すことを特徴とする、圧電部材の製造方法。

IPC (5件)：

H03H 3/02 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H03H 9/19

FI (5件)：

H03H 3/02 B ,  H03H 9/19 A ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 A