特許
J-GLOBAL ID:200903018207226043

イオン銃及びこれを使用する質量分析計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石川 泰男
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-519713
公開番号(公開出願番号):特表平8-507640
出願日: 1994年03月03日
公開日(公表日): 1996年08月13日
要約:
【要約】イオン銃が、使用中、ソース平面に対して垂直な方向に、ソース周囲からイオンが抽出されるように構成された少なくとも一部が環状のイオンソース(1,2,3)を備えている。使用中に、前記ソースの中心軸上の位置に向かってイオンを方向付けるように構成された方向付け手段(8,9,10)も設けられている。イオン銃は、単独またはイオン検出器(13)とともに使用され、質量分析装置を提供する。
請求項(抜粋):
使用中、ソース平面に対して垂直な方向に、ソース周囲からイオンが抽出されるように構成された少なくとも一部が環状のイオンソース(1,2,3)と、 使用中に、前記ソースの中心軸上の位置に向かってイオンを方向付けるように構成された方向付け手段(8,9,10)と、を備えているイオン銃。
IPC (3件):
H01J 49/14 ,  H01J 27/20 ,  H01J 49/40
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平2-204941
  • 特開平2-168541
  • 特開平3-030251
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