特許
J-GLOBAL ID:200903018207594794
表面欠陥検査装置
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-284241
公開番号(公開出願番号):特開2002-090309
出願日: 2000年09月19日
公開日(公表日): 2002年03月27日
要約:
【要約】【課題】検査員は検出された疵の程度を瞬時に判断させる。【解決手段】連続的に搬送される帯状の被検査体の表面を検査して疵を検出する画像処理部201と、疵の種別および程度の少なくとも一方を判定して疵情報を出力する判定部206と、画像信号に応じて画像表示するモニタ120に対して、判定部206で判定された疵情報に応じてシンボルの表示色を変えた画像信号を出力する画像信号出力部207とを具備してなることを特徴とする。
請求項(抜粋):
連続的に搬送される帯状の被検査体の表面を検査して疵を検出する疵検出部と、この疵検出部により検出された疵の種別および程度の少なくとも一方を判定して疵情報を出力する判定部と、画像信号に応じて画像表示する表示部に対して、前記判定部で判定された疵情報に応じてシンボルの表示色を変えた画像信号を出力する画像信号出力部とを具備してなることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件):
G01N 21/892
, G06T 1/00 300
FI (2件):
G01N 21/892 B
, G06T 1/00 300
Fターム (31件):
2G051AA37
, 2G051AB07
, 2G051CA02
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CD07
, 2G051DA13
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA23
, 2G051EB05
, 2G051FA01
, 2G051FA04
, 2G051FA10
, 5B057AA02
, 5B057BA02
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB01
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CC01
, 5B057CE14
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB09
, 5B057DC03
, 5B057DC05
引用特許:
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