流体駆動装置、化学分析装置および流体駆動方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鵜沼辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-130235
公開番号（公開出願番号）：特開平7-332299
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】流路内または槽内の流体中になんら外部から物体を挿入することなしに、それらの流体に流れを発生させる。【構成】平板10と平板11との間には流体12が収められ、平板10は静止台13に設けられた複数の支柱14上に載せられている。平板10の底面には駆動板15が、静止台13には固定板16がそれぞれ固定され、駆動板15と固定板16の間には圧電素子17が設けられている。そして、立上りが急で立下がりが緩慢なノコギリ状の電圧をドライバ18から圧電素子17に印加すると、圧電素子17は伸縮を繰返し、その伸縮によって駆動板15は大きさが異なる速度ベクトル20,21で振動する。この振動によって流体12に流れを発生させることができる。

請求項（抜粋）：