特許
J-GLOBAL ID:200903018211944120

LiNbO3の配向膜を有する複合結晶体およびその製法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 友松 英爾
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-177608
公開番号(公開出願番号):特開平5-000897
出願日: 1991年06月21日
公開日(公表日): 1993年01月08日
要約:
【要約】【目的】 少なくとも0.2μm以上の厚さで、その主たる化学組成が式LiNbO3で表わされる無機複合酸化物の配向膜を有する複合結晶体の提供。【構成】 (a)Sol-Gel法によって、基礎結晶上に0.2μm以下の厚さで、その主たる化学組成が式LiNbO3で表わされる配向膜を形成し、(b)次にこの膜上に同様の化学組成を有するアモルファス状の第2の層を形成した後、アニール処理を行う。
請求項(抜粋):
(a)基礎結晶および(b)その上に主たる化学組成が式LiNbO3で表わされる無機複合酸化物の配向膜が少なくとも0.2μm以上の厚さで形成されていることを特徴とする複合結晶体。
IPC (4件):
C30B 29/30 ,  C30B 33/02 ,  H01B 3/12 313 ,  H01B 3/12 331

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