特許

J-GLOBAL ID：200903018213089465

LSI試験装置

発明者： 横関 勝義
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-226386
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064448
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】 DUTの個数に係わりなくクラスタ割り付けを任意に行うことが可能なLSI試験装置を実現する。【解決手段】 LSI試験装置において、複数のテストピン毎に分類されて管理される複数のクラスタの内で使用する任意のクラスタを設定する使用クラスタ設定レジスタ回路と、複数のクラスタからの複数のクラスタ・フェイル信号を使用クラスタ設定レジスタ回路からの出力に基づき選択して被試験LSIのフェイル信号を生成して出力する良否判定回路とを設ける。

請求項（抜粋）：

LSI試験装置において、複数のテストピン毎に分類されて管理される複数のクラスタの内で使用する任意のクラスタを設定する使用クラスタ設定レジスタ回路と、前記複数のクラスタからの複数のクラスタ・フェイル信号を前記使用クラスタ設定レジスタ回路からの出力に基づき選択して被試験LSIのフェイル信号を生成して出力する良否判定回路とを備えたことを特徴とするLSI試験装置。