ダイヤモンド状炭素膜の作製方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-056705
公開番号（公開出願番号）：特開2000-226666
出願日： 1988年10月11日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】炭素を主成分とする膜を基体または部材に密着させて形成する。【解決手段】反応性気体のプラズマを発生して前記部材の表面に下地被膜を形成し、炭化水素気体のプラズマを発生して、前記下地膜上にダイヤモンド状炭素膜を形成。

請求項（抜粋）：

部材を覆うダイヤモンド状炭素膜を作製する方法であって、反応性気体のプラズマを発生して前記部材の表面に下地被膜を形成し、炭化水素気体のプラズマを発生して、前記下地膜上にダイヤモンド状炭素膜を形成することを特徴とするダイヤモンド状炭素膜の作製方法。

IPC (3件)：

C23C 16/27 , C23C 16/505 , B32B 9/00

FI (3件)：

C23C 16/27 , C23C 16/505 , B32B 9/00 A

引用特許：

出願人引用 (19件)

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審査官引用 (20件)

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