特許
J-GLOBAL ID：200903018214519277
横型プロセスチューブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-151275
公開番号（公開出願番号）：特開平8-017751
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 プロセス部のプロセスガス濃度を均一にできる横型プロセスチューブを提供することを目的とするものである。【構成】 第1の実施例では、チューブ本体101のプロセス部140と出入口120との間にガス排気部150Aが形成されていて、このガス排気部150Aを、チューブ本体101の下部と両側面に形成された小さな3個の開口51A、51B、51Cと、開口51Aに一端が接続された直管の排気管52Aと、開口51Bに一端が接続され、他端が前記排気管52Aの側面に接続されたほぼL型の排気管52Bと、そして開口51Cに一端が接続され、他端が前記排気管52Aの前記排気管52Bが接続された側面とは反対側の側面に接続されたほぼ逆L字型の排気管52Cとから構成して、プロセス部140のプロセスガス濃度分布を均一にしている。図3に更に改善された第2の実施例が示されている。
請求項（抜粋）：
プロセスガス供給口、プロセス部、被表面処理加工物の出入口、ガス排気部などが形成されたチューブからなる横型プロセスチューブにおいて、前記ガス排気部が前記プロセス部と出入口との中間部の前記チューブに形成した複数の開口とこれらの開口に接続した複数の排気管を一本の排気管に結合して構成されていることを特徴とする横型プロセスチューブ。
IPC (2件)：
H01L 21/22 501
, H01L 21/31
