特許

J-GLOBAL ID：200903018224434130

半導体装置

発明者： 東 竜也 ,  渡辺 吉規
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝マイクロエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 外川 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-266649
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077948
出願日： 2001年09月04日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 バンプ配置のデザインルールを満たしながら、有効に入出力セルを使用する半導体装置を提供することを目的とする。【解決手段】 各入出力セル上にパッドが複数個配置されている。第1の入出力セルにおいてバンプを形成するパッドとして、パッドp11を選択したとすると、第2の入出力セルにおいてはバンプを形成するパッドとして、パッドp21以外のパッドを選択する。例えば、第2の入出力セルにおいてパッドp22を選択したとする。第3の入出力セルにおいてはバンプを形成するパッドとして、パッドp32以外のパッドを選択する。すなわち、第2の入出力セルにおいてバンプが形成されるパッドに対して、隣り合った入出力セル(第1および第3の入出力セル)でバンプが形成されるパッドは、必ずデザインルールD1を満たすような位置に配置されたパッドが選択される。

請求項（抜粋）：

入出力セルと、前記入出力セル上に所望の距離で配置された複数のパッドとを具備し、前記入出力セルは、複数個平行に並んでいることを特徴とする半導体装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 ,  H01L 21/82

FI (2件)：

H01L 21/92 602 N ,  H01L 21/82 P

Fターム (6件)：

5F064BB26 ,  5F064DD12 ,  5F064DD13 ,  5F064DD18 ,  5F064DD24 ,  5F064DD43