特許

J-GLOBAL ID：200903018228635750

環境制御装置

発明者： 中野 一志
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-268659
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111593
出願日： 1997年10月01日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 露光装置用の環境制御装置において、従来の有機ガス除去フィルタは性能が低く、装置が大型化していた。【解決手段】 露光装置本体を収納する環境チャンバ1と、環境チャンバ1内に気体を流通させる送風装置3と、酸化チタンを備えた不純物除去フィルタ(4,F1,F2のうち少なくとも1つ)とを有し、送風装置3によって流通させられた気体が不純物除去フィルタを通過する際、酸化チタンの光触媒作用によって、不純物除去フィルタを通過する気体中の不純物を除去する。

請求項（抜粋）：

デバイス製造装置の少なくとも一部を収納するチャンバと、該チャンバ内に気体を流通させる空調手段と、酸化チタンを備えた不純物除去フィルタとを有し、前記空調手段によって流通させられた気体が前記不純物除去フィルタを通過する際、前記酸化チタンの光触媒作用によって、前記不純物除去フィルタを通過する気体中の不純物を除去することを特徴とする環境制御装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  B01D 39/14 ,  B01J 35/02 ,  G03F 7/16 ,  G03F 7/20 ,  G03F 7/30 501

FI (6件)：

H01L 21/30 502 G ,  B01D 39/14 B ,  B01J 35/02 J ,  G03F 7/16 ,  G03F 7/20 ,  G03F 7/30 501