特許
J-GLOBAL ID：200903018229291264
収差測定方法及び収差測定装置並びにそれを備えた露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-326988
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170399
出願日： 1996年12月06日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 披検光学系の横収差を高精度に測定する。【解決手段】 披検光学系の収差を測定する収差測定方法は、披検光学系の物体側及び像側の少なくとも一方に配置された空間像供給ユニット(ISU)により空間像を披検光学系(PL)に供給する工程と、披検光学系により再結像された空間像の像の位置を像位置計測系(IPD)により計測する工程とを含み、空間像供給ユニットは、披検光学系の瞳の領域の一部を通過する光束(NA1)のみを用いて前記披検光学系へ空間像を供給する。
請求項（抜粋）：
披検光学系の収差を測定する収差測定方法において、該披検光学系の物体側及び像側の少なくとも一方に配置された空間像供給ユニットにより空間像を該披検光学系に供給する工程と、前記披検光学系により再結像された前記空間像の像の位置を計測する工程をと含み、前記空間像供給ユニットは、前記披検光学系の瞳の領域の一部を通過する光束のみを用いて前記披検光学系へ前記空間像を供給することを特徴とする収差計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/02 B
, G01M 11/00 T
