感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：穂高哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019554
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218910
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】合金に対する密着性を向上させ、エッチング液のしみこみを防ぐ感光性樹脂組成物及び金属加工に好適な感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (A)(メタ)アクリル酸エステルと(メタ)アクリル酸を共重合成分としてビニルモノマーを共重合して得られるフィルム性付与ポリマー、(B)光重合開始剤、(C)一般式(I)で示される光重合性化合物及び(R1及びR2は水素原子又はメチル基、R3は炭素数1〜12のアルキレン基、炭素数4〜6のシクロアルキレン基等、R4は炭素数1〜6のアルキレン基、n及びmは1〜15の整数を表す。)(D)次の-般式(II)で示される化合物(R4、R5及びR6は、アルキレン基、置換アルキレン基等、R7、R8及びR9は、イソシアネートと活性水素を持つ化合物が反応して得られる残基を表す。)を含有する感光性樹脂組成物及びこの組成物からなる感光層を支持体上に形成してなる感光性フィルム。

請求項（抜粋）：

(A)(メタ)アクリル酸エステルと(メタ)アクリル酸を共重合成分としてビニルモノマーを共重合して得られる重量平均分子量30,000〜200,000のビニル系共重合化合物のフィルム性付与ポリマー、(B)光重合開始剤、(C)一般式(I)で示されるエチレン性不飽和化合物を必須成分として含む、分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物及び【化1】(R1及びR2は互いに独立して水素原子又はメチル基を表し、R3は炭素数1〜12のアルキレン基、炭素数4〜6のシクロアルキレン基、該アルキレン基と該シクロアルキレン基を有する混合基又は炭素数6〜14のアリーレン基、R4は炭素数1〜6のアルキレン基であり、前記基の水素原子は炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルコキシル基で置換されていてもよく、n及びmは互いに独立して1〜15の整数を表す。)(D)次の-般式(II)で示される化合物【化2】(式中のR4、R5及びR6は互いに独立して、アルキレン基、置換アルキレン基、アルキレンオキシ基、アリール基又は置換アリール基であり、R7、R8及びR9は互いに独立して、イソシアネートと活性水素を持つ化合物が反応した際に得られる残基を表す。)を含有し、希アルカリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 502 , C08L 33/06 , G03F 7/004 512 , G03F 7/085 , C08F290/06 , C08F299/02

FI (6件)：

G03F 7/027 502 , C08L 33/06 , G03F 7/004 512 , G03F 7/085 , C08F290/06 , C08F299/02

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