光導波路の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-109580
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304649
出願日： 1995年05月08日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】製造時間、及び製造コストの削減をはかった光導波路の製造方法を提供することを目的とする。【構成】第1のガラス素材がプレス成形装置の上下型間に配置され、第1のガラス素材が変形可能な温度まで加熱してプレス成形され、第1のガラス素材の片面に光導波路のコア層に相当する凸部が形成される(工程(a)乃至(c))。この凸部が形成された面に光導波路のクラッド層に相当する第2のガラス素材が載置され、第2のガラス素材が変形可能な温度まで加熱してプレス成形される(工程(d))。第1のガラス素材の凸部の一部又は全部を残存させるように少なくとも第1のガラス素材が除去される(工程(e))。少なくとも第1のガラス素材が除去された面に第2のガラス素材とほぼ屈折率が等しいガラス素材を配置し、加熱してプレス成形する(工程(f))。

請求項（抜粋）：

光導波路のコアに相当する第1のガラス素材上に凸部を形成する第1の工程と、前記第1の工程で凸部を形成した面に、第1のガラス素材と屈折率が異なり、光導波路のクラッド層に相当する第2のガラス素材を隙間なく接合させる第2の工程と、前記第2の工程で接合された第1及び第2のガラス素材から、前記凸部の少なくとも一部を残して、少なくとも第1のガラス素材を除去する第3の工程と、前記第3の工程で少なくとも第1のガラス素材が除去された面に、前記第2のガラス素材と屈折率がほぼ等しく、光導波路のクラッド層に相当する第3のガラス素材を接合させる第4の工程と、を具備したことを特徴とする光導波路の製造方法。

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