特許

J-GLOBAL ID：200903018236621512

保護テープ剥し装置及びその剥し方法

発明者： 加藤 健一
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-277758
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125768
出願日： 1996年10月21日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】裏面研磨工程により、保護テープとウェーハとの接着力が強化されている場合でも、容易に且つ処理能力を高める保護テープ剥し装置及びその剥し方法を提供することにある。【解決手段】ウェーハ7上の保護テープ6を剥離する剥離ローラ13の移動に合わせて、所定時間だけ純水を吐出する純水ノズル14と、テープ剥し部18やウェーハ乾燥部19とを設ける。ローラ13が左方向へ進むのと連動して巻取りドラム3を回転させ、剥離テープ12に付着した保護テープ6がウェーハ7の表面から湾曲してその端部で剥れた状態とする。巻取りドラム3の回転から所定時間後、純水ノズル14より接着界面に純水を吐出する。この純水を吐出しながらドラム3を回転させ、テープ12に付着した保護テープ6を巻取る。

請求項（抜粋）：

保護テープが貼付されたウェーハおよび前記保護テープを剥離された前記ウェーハを搬送するための搬送アームと、前記搬送アームにより移送された前記保護テープの貼付された前記ウェーハを固定するテープ剥し部と、前記テープ剥し部に固定された前記ウェーハの前記保護テープ上に駆動され密着させる剥離テープの駆動機構と、前記保護テープおよび前記ウェーハの界面に所定時間だけ純水を供給する純水ノズルと、前記テープ剥し部で前記保護テープを剥離された前記ウェーハを乾燥させるウェーハ乾燥部とを有することを特徴とする保護テープ剥し装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/304 321 B ,  H01L 21/78 P