クリーンルーム用イオナイザ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172809
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021131
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】電極に高電圧を印加し放電を起こしても、除電性能は低下せずに、電極の摩耗が防止され、重金属の飛散によるクリーンルーム内の汚染が低減されるクリーンルーム用イオナイザを提供することである。【構成】クリーンルーム用イオナイザ1の針状電極2に、ニッケル3をメッキ等により重ね合わせ積層構造とする。これによって、ニッケルの耐摩耗性が向上され、電極の摩耗率が大幅に低減することができる。

請求項（抜粋）：

静電気除去のためのクリーンルーム用イオナイザにおいて、表面に本体の構成材料以外の金属を重ね合わせ積層構造としたイオン発生電極を備えたことを特徴とするクリーンルーム用イオナイザ。

IPC (3件)：

H01T 19/04 , H01T 23/00 , H05F 3/04

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-269980
特開平2-012172
特開昭62-241807

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審査官引用 (3件)

特開平3-269980
特開平2-012172
特開昭62-241807

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