特許

J-GLOBAL ID：200903018245872064

金属溶融材料の研磨方法とその装置

発明者： ジョン エドウィン グラエブナー ,  サンゴー ジン ,  グエンサー ウィルヘルム カンムロット ,  ウェイ ズー
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・アイピーエム・コーポレーション
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-093702
公開番号（公開出願番号）：特開平8-336739
出願日： 1996年04月16日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【課題】 ダイアモンドのような金属溶融材料の表面をサブミクロンのレベルにまで微細に研磨する方法を提供する。【解決手段】 本発明の方法は、非研磨材料の表面に金属粉末と酸性キャリアあるいは塩基性キャリアからなる研磨媒体を接触させる。その後この表面を高速度のラビングでもってサブミクロンのレベルまで研磨する。

請求項（抜粋）：

(A)50オングストローム以上の表面粗さを有する金属溶融材料の表面を用意するステップと、(B)前記表面に金属溶解キャリア媒体中に金属粒子を含む研磨媒体を接触させるステップと、(C)表面粗さが20オングストローム以上減少するように微細研磨表面を生成するために前記表面を擦るステップとからなることを特徴とする金属溶融材料の研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-281165