特許
J-GLOBAL ID：200903018252405196
マイクロジャイロスコープ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-348971
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218042
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】 コリオリの力による振動構造物の変位が振動構造物の表面方向に発生するマイクロジャイロスコープを提供する。【解決手段】 本発明によるマイクロジャイロスコープは、基板と、ストライプ状の多数の陽極と陰極が相互交代して平行に配列された第1感知手段31と、ストライプ状の多数の陽極と陰極が相互交代して平行に配列された駆動手段32と、第1感知手段31及び駆動手段32の定義する平面から垂直上方に所定の高さに離隔して配置され、多数の第1溝35及び多数の第2溝36を有する振動構造物34と、振動構造物34を前記基板から所定の高さに保持するように前記基板上に形成された支持部39と、振動構造物34と支持部39との間を弾性的に連結させる弾性部材38とを有して構成されている。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板上でストライプ状の多数の陽極と陰極が相互交代して平行に配列された第1感知手段と、前記基板上で前記第1感知手段のストライプの長さ方向と直角方向に配置され、ストライプ状の多数の陽極と陰極が相互交代して平行に配列された駆動手段と、前記第1感知手段及び前記駆動手段の定義する平面から垂直上方に所定の高さに離隔して配置され、前記第1感知手段のストライプの長さ方向と一致する方向に形成されたストライプ状の多数の第1溝及び前記駆動手段のストライプの長さ方向と一致する方向に形成されたストライプ状の多数の第2溝を有する振動構造物と、前記振動構造物を前記基板から所定の高さに保持するように前記基板上に形成された支持部と、前記振動構造物と前記支持部との間を弾性的に連結する弾性部材とを有して構成されているマイクロジャイロスコープ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01C 19/00
, G01P 9/04
G01C 19/56
, G01C 19/00 Z
, G01P 9/04
