特許
J-GLOBAL ID：200903018267725120
窒化チタンスパッタリングタ-ゲット
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
今井 毅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-129671
公開番号（公開出願番号）：特開平6-212418
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1994年08月02日
要約：
【要約】【目的】 スパッタ時におけるパ-ティクルの発生が少なくて高品質窒化チタン膜を安定して生成できる窒化チタンスパッタリングタ-ゲットを提供する。【構成】 窒化チタンスパッタリングタ-ゲットを、Ti粒の焼結,窒化により生じた窒化チタン粒結合体から成り、しかも平均直径5〜20μmのポアが単位面積当り100〜500個/mm2存在する構成とするか、或いは、平均直径5〜20μmのポアが単位面積当り100〜500個/mm2存在すると共に、このポア平均直径に対して前記窒化チタン粒の平均粒径が1〜100の比率となった構成とする。ポアや窒化チタン粒の制御は、原料Ti粉,焼結条件等の調整によって行うことができる。
請求項（抜粋）：
Ti粒の焼結,窒化によって生じた窒化チタン粒結合体から成り、平均直径5〜20μmのポアが単位面積当り100〜500個/mm2存在していることを特徴とする、窒化チタンスパッタリングタ-ゲット。
引用特許：
前のページに戻る
