特許

J-GLOBAL ID：200903018278944257

表面欠陥の検出方法

発明者： 後藤 勝利 ,  梶谷 郁夫
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-204132
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050742
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】 光ファイバの光に照射ムラがあっても、精度が高く信頼性のある表面欠陥の測定方法を提供する。【構成】 マスターゲージに光を照射することによって基準の面状態を測定し基準値として記憶し(S6)、記憶された基準値を反転して反転値を形成し(S9)、測定物に光を照射することによって測定物の面状態を測定し測定された測定値を記憶し(S8)、この測定値と前記の反転値とを加算した演算値を求め(S10)、この演算値を予め設定したしきい値と比較する(S11)ことによって物品表面の欠陥を検出する。【効果】 光ファイバの光の照射ムラを除去して正確な欠陥検査ができる。メンテナンスを効率的で確実に行え、性能が向上した、精度の高い欠陥検出方法となる。

請求項（抜粋）：

被測定物の検査面に照射した光の反射光を受光し、この反射光の輝度により測定物表面の欠陥を検出する欠陥検出方法において、面粗度均一のマスタゲージを測定して、この輝度分布を基準値として記憶するステップと、非測定物検査面を測定して、この輝度分布を測定値として記憶するステップと、前記基準値と前記測定値の偏差を検出することにより被測定物検査面の欠陥を検出するステップと、を有することを特徴とする表面欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88