特許
J-GLOBAL ID：200903018280883788
試料の高さ計測手段を備えた電子ビーム装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-243003
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126573
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 試料高さ計測装置の配置と対物レンズの最大収束磁場中への試料の配置を容易に実現する。【解決手段】 対物レンズの第1の磁極12と第2の磁極13を、試料6を介してレーザ光線11を発生する光源及び光検出手段の反対側に配置する。両磁極12,13間の間隙は少なくとも試料6側に開放されている。
請求項（抜粋）：
電子ビーム発生手段と、第1の磁極と第2の磁極を有し、当該両磁極間に発生する磁場によって前記電子ビーム発生手段で発生した電子ビームを収束する対物レンズと、試料ステージに配置される試料に対して斜め方向から光ビームを照射する光源と、試料面で反射した光ビームを受光してこの受光位置を検知する光検出手段を含む試料の高さ計測手段を備えた電子ビーム装置であって、前記第1の磁極と第2の磁極は、前記試料を介して前記光源及び光検出手段の反対側に配置されると共に、両磁極間の間隙は少なくとも前記試料側に開放されていることを特徴とする試料の高さ計測手段を備えた電子ビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/21
, H01J 37/141
, H01J 37/20
H01J 37/21 B
, H01J 37/141 A
, H01J 37/20 Z
