特許
J-GLOBAL ID：200903018291409492
密着型イメージセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-069418
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260627
出願日： 1993年03月03日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 安価で、高感度に2次元領域を検出可能な密着型イメージセンサを提供することを目的とする。【構成】 密着型イメージセンサ1はフォトセンサアレイ10とフォトセンサアレイ10の前面に配置されたマイクロレンズアレイ20とこれらを所定間隔空けて支持する支持板30を備えており、フォトセンサアレイ10は透明な絶縁性基板11上に複数のセンサ部12がライン状に所定間隔毎に形成されたものである。各フォトセンサ部12は絶縁性基板11上に所定間隔毎に形成された遮光層13上に、透明絶縁膜14、シリコン薄膜層15、ソース電極16、ドレイン電極17、保護膜18及びゲート電極19が順次積層されたものである。マイクロレンズアレイ20は、フォトセンサアレイ10のセンサ部12と同じ間隔でライン上にマイクロレンズ21が形成されたものであり、各マイクロレンズ21は、フォトセンサアレイ10の各フォトセンサ部12の前面に位置している。
請求項（抜粋）：
被検知対象からの光が入射されるフォトセンサ部が配列されたフォトセンサアレイの前面側に、各センサ部に対応するマイクロレンズが一体に配列されたマイクロレンズアレイを配置したことを特徴とする密着型イメージセンサ。
IPC (3件)：
H01L 27/146
, H04N 1/04 102
, H01L 31/10
H01L 27/14 C
, H01L 31/10 Z
