特許

J-GLOBAL ID：200903018292479680

光学系および撮像手段を有する装置における検査方法

発明者： 林 謙一 ,  曽我部 靖
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 松村 博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005480
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197226
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 垂直度を検査する対象となる光学系および撮像手段を有する装置において、光学系あるいは撮像手段の光軸方向の撮像対象面の位置を検出するための装置を追加することなく、光学系あるいは撮像手段の光軸に対する撮像対象面の垂直度を精度よく検査することを可能にする。【解決手段】 撮像対象面上の同一直線上にない少なくとも3箇所に設置された格子ピッチおよび格子方向が一定な格子パターン4a〜4cを、CCDカメラ1のフォーカスおよび倍率を変えないで個別に撮像し、格子パターン4a〜4cのみを含んだ複数の格子画像を得て、演算装置7では前記複数の格子画像内に含まれる格子本数を所定の方向においてカウントし、複数の格子画像における格子本数を各々比較することにより、前記CCDカメラ1の光軸に対する撮像対象面の垂直度を検査する。

請求項（抜粋）：

撮像対象面上の同一直線上にない少なくとも3箇所に設置された格子ピッチおよび格子方向が一定な格子パターンを、撮像手段のフォーカスおよび倍率を変えることなく、個別に撮像することにより、前記格子パターンのみを含んだ複数の格子画像を得る第1の工程と、前記複数の格子画像内に含まれる格子本数を所定の方向においてカウントする第2の工程と、前記第2の工程で求めた複数の格子画像における格子本数を各々比較することにより、前記撮像手段の光軸に対する前記撮像対象面の垂直度を検査する第3の工程と、を有することを特徴とする光学系および撮像手段を有する装置における検査方法。