特許

J-GLOBAL ID：200903018293065677

ポリイミド系樹脂前駆体の製造法および樹脂組成物

発明者： 内村 俊一郎 ,  関根 浩良 ,  柴田 貴子 ,  倉持 達也 ,  安彦 政康 ,  佐藤 任廷
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028048
公開番号（公開出願番号）：特開平5-222195
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：

【要約】【構成】 含有水分が0.1重量%以下の溶剤中で、芳香族四塩基酸二無水物1モルに対して、炭素数4以下の1価のアルコール及び/又は炭素数4以下の1価のアルコール誘導体0.1〜1.0モルを加えて加熱し、四塩基酸二無水物の一部をジエステルとした後、分子長軸に対して非対称な位置にアミノ基を有する芳香族ジアミン化合物及び必要に応じてその他のジアミン化合物0.8〜1.2モルを反応させることを特徴とするポリイミド系樹脂前駆体の製造法、この前駆体を含む樹脂組成物。【効果】 本発明のポリイミド系樹脂前駆体を含む樹脂組成物を用いることにより、配線段差の平坦化性と微細な溝状パターンの埋込性が良好で、従来の湿式加工プロセスでパターン化可能なポリイミド膜が得られる。

請求項（抜粋）：

含有水分が0.1重量%以下の溶剤中で、芳香族四塩基酸二無水物1モルに対して、炭素数4以下の1価のアルコール及び/又は炭素数4以下の1価のアルコール誘導体0.1〜1.0モルを加えて加熱し、四塩基酸二無水物の一部をジエステルとした後、分子長軸に対して非対称な位置にアミノ基を有する芳香族ジアミン化合物及び必要に応じてその他のジアミン化合物0.8〜1.2モルを反応させることを特徴とするポリイミド系樹脂前駆体の製造法。

IPC (3件)：

C08G 73/10 NTF ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31