ウエハプローバ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：早瀬憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-199136
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021166
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】プローブカードとウエハの平行度のずれをチャックトップ側で調整し、均一な針圧を得る。またプローブカードの傾きを非接触で検出できるようにする。【構成】チャックトップ内に圧電素子43を挿入し、チャックトップ上段のステージ42を傾けられるようにする。またプローブカードを装着したDUTボードを圧電素子で傾けられるようにする。また、プローブカードにレーザ光を照射する等してプローブカードの傾きを非接触で検出する。

請求項（抜粋）：

ウエハを搭載し搬送するためのステージ(以下、チャックトップと称す)を有するウエハプローバにおいて、上記チャックトップは、そのウエハ搭載面をその本来の位置より傾かせる傾斜付与手段を有することを特徴とするウエハプローバ。

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