特許

J-GLOBAL ID：200903018299477039

近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録/再生装置

発明者： 松本 拓也 ,  一色 史雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-016500
公開番号（公開出願番号）：特開2002-221477
出願日： 2001年01月25日
公開日（公表日）： 2002年08月09日
要約：

【要約】【課題】本発明は、光利用高率が高く、凹凸のある試料表面に対しても使用可能で、かつ大量製産可能な近接場光プローブを提供することを目的とする。【解決手段】三角錐や四角錘など多角錘の形状をした突起の側面のうち、一つの面(11)全面を金属膜で覆う。

請求項（抜粋）：

多角錐の形状をした突起からなり、その側面のうちの1面が金属の膜で覆われたことを特徴とする近接場光プローブ

IPC (6件)：

G01N 13/14 ,  G01N 13/16 ,  G02B 21/32 ,  G11B 7/004 ,  G11B 7/135 ,  G12B 21/06

FI (6件)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/16 C ,  G02B 21/32 ,  G11B 7/004 Z ,  G11B 7/135 A ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (9件)：

2H052AF19 ,  5D090AA01 ,  5D090CC16 ,  5D090FF11 ,  5D090KK16 ,  5D119AA38 ,  5D119AA43 ,  5D119BA01 ,  5D119JA34