特許
J-GLOBAL ID:200903018306195877
リチウム二次電池用電極の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
目次 誠 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-108256
公開番号(公開出願番号):特開2003-303587
出願日: 2002年04月10日
公開日(公表日): 2003年10月24日
要約:
【要約】【課題】 集電体1上に活物質からなる薄膜を堆積して形成するリチウム二次電池用電極の製造方法において、集電体1の機械的特性を低下させずに、高い成膜速度で活物質薄膜を集電体1上に堆積させる。【解決手段】 集電体1上に形成される活物質薄膜が、集電体上に形成される界面層と、該界面層上に形成される活物質層とから構成されており、界面層がRFスパッタ源4によるRFスパッタ法により形成され、活物質層がDCパルススパッタ源5によるDCパルススパッタ法により形成されることを特徴としている。
請求項(抜粋):
集電体上に活物質からなる薄膜を堆積して形成するリチウム二次電池用電極の製造方法において、前記薄膜が、集電体上に形成される界面層と、該界面層上に形成される活物質層とから構成されており、前記界面層がRFスパッタリング法により形成され、前記活物質層がDCスパッタリング法またはDCパルススパッタリング法により形成されることを特徴とするリチウム二次電池用電極の製造方法。
IPC (5件):
H01M 4/04
, H01M 4/02
, H01M 4/38
, H01M 4/66
, H01M 10/40
FI (5件):
H01M 4/04 A
, H01M 4/02 B
, H01M 4/38 Z
, H01M 4/66 A
, H01M 10/40 Z
Fターム (39件):
5H017AA03
, 5H017AS02
, 5H017BB17
, 5H017BB19
, 5H017CC01
, 5H017DD05
, 5H017EE01
, 5H017EE04
, 5H017HH03
, 5H017HH07
, 5H029AJ11
, 5H029AJ14
, 5H029AK03
, 5H029AL11
, 5H029AM03
, 5H029AM05
, 5H029AM07
, 5H029BJ04
, 5H029BJ12
, 5H029CJ24
, 5H029CJ28
, 5H029CJ30
, 5H029DJ18
, 5H029HJ04
, 5H029HJ15
, 5H050AA14
, 5H050AA19
, 5H050BA17
, 5H050CA08
, 5H050CB11
, 5H050DA04
, 5H050FA02
, 5H050FA08
, 5H050FA20
, 5H050GA24
, 5H050GA27
, 5H050GA29
, 5H050HA04
, 5H050HA15
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