特許

J-GLOBAL ID：200903018307885060

紫外線予備電離パルスガスレーザ

発明者： 新井 基尋
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225742
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067828
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】紫外線予備電離方式のパルスガスレーザを長時間動作させる。【構成】電圧プローブ1と、それからの電圧波形の変化から、予備電離電極対間の間隔を変化を抽出し、位置調整機構にフィードバックして予備電離電極対間の間隔を一定化している。

請求項（抜粋）：

少なくともレーザガスを放電で励起するため一対の柱状の放電電極と、前記放電電極間にパルス状の電流を流すための励起回路と、空隙を介して対向する一対の予備電離電極を前記放電電極の長手方向に前記放電電極に沿って複数個並べた予備電離部と、前記レーザガスを封入するためのレーザ管とから構成された紫外線予備電離パルスガスレーザにおいて、前記予備電離電極間の間隔を測定する手段と、前記間隔を調整する手段とを備え、前記間隔を測定する手段からの信号を基に前記間隔を調整する手段を備えたことを特徴とする紫外線予備電離パルスガスレーザ。