特許
J-GLOBAL ID:200903018318076199

アレイ型X線検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松田 正道
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2000008611
公開番号(公開出願番号):WO2001-042813
出願日: 2000年12月06日
公開日(公表日): 2001年06月14日
要約:
【要約】直接変換方式のアレイ型X線検出装置において、発生した電荷を蓄積する集荷電極3に蓄積される電荷量は、読み出しゲート6と同じ製造工程によって形成されたMISダイオード10によって、クランプ信号電圧に相当する電荷量にクランプされるため、過剰なX線の照射があっても、読み出しゲートは破壊されない。更に、MISダイオード10の代わりに、遮断電圧制御回路44とこれに接続されたTFTを用いた遮断ゲート41を設け、電荷蓄積コンデンサ42の出力が遮断電圧を超えると、遮断ゲート41が電荷蓄積コンデンサへの電荷の流入を遮断して、それ以上の出力上昇を抑えるため、読み出しゲート6は破壊されない。
請求項(抜粋):
2次元状に配列された複数のX線量検出素子と、 前記複数のX線量検出素子からの読み出し手段と、 前記複数のX線量検出素子および/または前記読み出し手段を保護するための所定の基準電位を設定する電位設定手段とを備え、 前記複数のX線量検出素子は、 入射したX線を電荷に変換する電荷変換手段と、 前記電荷を蓄積する電荷蓄積手段と、 前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷を前記読み出し手段に転送する電荷転送手段と、 前記電荷蓄積手段に蓄積された電荷によって生ずる出力電位を、実質上前記所定の基準電位以下に制限する出力制限手段とを有することを特徴とするアレイ型X線検出装置。
IPC (2件):
G01T 1/24 ,  H01L 31/09
FI (2件):
G01T 1/24 ,  H01L 31/00 A

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