特許

J-GLOBAL ID：200903018320806838

基板搬送機構

発明者： 斉藤 良二 ,  末吉 雅子
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 元 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-278651
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121581
出願日： 1997年10月13日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 基板搬送の処理時間を大幅に短縮することができる基板搬送機構を得る。【解決手段】 基板支持ピン3が上下動する所定領域(A〜D間)において、基板支持ピン3とロボットアーム1とが互いに干渉する干渉領域(B〜C間)を設定し、基板支持ピン3が干渉領域を通過したときに、干渉領域内に停止していたロボットアーム1を後退させるようにした。

請求項（抜粋）：

所定領域を上下動する基板支持ピンと、所定水平領域を進退動する基板搬送ロボットを備え、前記基板支持ピンと前記基板搬送ロボットとの間で基板の受け渡しを行うようにした基板搬送機構において、前記基板支持ピンが上下動する所定領域において、前記基板支持ピンと前記基板搬送ロボットとが互いに干渉する干渉領域を設定し、前記基板支持ピンが前記干渉領域を通過したときに、前記干渉領域内に前進していた前記基板搬送ロボットを後退させるようにしたことを特徴とする基板搬送機構。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 C ,  H01L 21/30 528