特許
J-GLOBAL ID：200903018322178028
プローブ制御装置および形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-263185
公開番号（公開出願番号）：特開2006-078354
出願日： 2004年09月10日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：
【課題】接触式のプローブの接触荷重の変動を低減し、高速かつ高精度な3次元計測を可能にする。【解決手段】図示しないワークに接触させるプローブ1は、板バネ2a、2bを介してステージ7に支持され、リニアモータ(10、11)によって上下動する。まず、位置設定器17の指令値に従ってステージ7を移動させ、プローブ1をワークに接触させた後は、板バネ2a、2bの変位によってプローブ1の接触荷重を検出する変位センサ5と荷重設定器18を含むプローブ荷重制御系に切換えて接触荷重を制御しながらプローブ1を走査する。走査開始直後には接触荷重に誤差が発生するため、予め設計値を用いた演算あるいはダミー走査によって求めた荷重補正信号を荷重補正器22に蓄えておき、必要に応じてプローブ荷重制御系の出力に加える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
プローブを搭載して移動するステージによって前記プローブを被検面に接触させ、前記被検面への接触荷重を制御しながら前記プローブを走査し、前記プローブの座標位置を計測する形状測定装置のプローブ制御装置であって、前記ステージの位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器によって検出した位置信号に基づいて前記ステージを移動させるステージ位置制御系と、前記ステージ位置制御系への指令値として、移動する前記ステージの目標位置を設定する位置設定器と、前記プローブの前記被検面に対する接触荷重を検出する検出手段と、前記検出手段の検出値に基づいて前記ステージを移動させ、前記接触荷重を制御するためのプローブ荷重制御系と、前記プローブを前記被検面に接触させながら走査する際に発生する前記接触荷重の誤差を補正する荷重補正信号を発生するための荷重補正器と、前記プローブ荷重制御系の出力に前記荷重補正信号を加算して前記ステージ位置制御系へ指令値として与えるための加算手段と、を有することを特徴とするプローブ制御装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2F062AA04
, 2F062AA51
, 2F062CC09
, 2F062DD08
, 2F062EE01
, 2F062EE62
, 2F062FF05
, 2F062GG37
, 2F062GG75
, 2F062HH04
, 2F062HH13
, 2F062HH21
, 2F062HH33
, 2F062JJ04
, 2F062MM02
