特許

J-GLOBAL ID：200903018328785759

インクジェットヘッドおよびその製造方法

発明者： 四谷 真一 ,  跡部 光朗 ,  紙透 真一 ,  小枝 周史
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-186891
公開番号（公開出願番号）：特開平6-031914
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】 高精細な印字品質を要求されるインクジェットプリンタの印字ヘッドの構造及びその製造方法を提供する。【構成】 (110)面方位シリコンウェハーにフォトリソグラフィ及び湿式結晶異方性エッチングによりインク圧力室を形成し、任意面方位のSiウェハーにフォトリソグラフィ及び湿式等方性エッチングによりインクノズルとオリフィスを形成し、両Siウェハーをインクノズル、インク圧力室及びオリフィスが連通するように接合する。【効果】 非常に狭いインクノズル間隔を有し、高精細印字可能なインクジェットヘッドを容易に製造できる。

請求項（抜粋）：

(110)面方位のSiウェハーと任意面方位のSiウェハーまたはホウケイ酸ガラス基板とを貼り合わせて形成されたインクジェットヘッドにおいて、(110)面方位のSiウェハー側に少なくともインク圧力室を、任意面方位のSiウェハーまたはホウケイ酸ガラス基板側に少なくともインクノズルまたはオリフィスを配置し、インクノズル、インク圧力室、オリフィスが連通した構造を有する事を特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H