特許
J-GLOBAL ID：200903018336256820
ウエハホルダ及びこれを使用したウエハ目視検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-287318
公開番号（公開出願番号）：特開平8-125004
出願日： 1994年10月27日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 半導体製造工程におけるウエハWを表面及び裏面ともに露出した状態で把持し自転駆動できるウエハホルダを提供し、表面及び裏面の目視検査を容易に可能とする。【構成】 ウエハWの外周部がはまり込む溝35が形成された複数のローラ34をウエハ外周の複数位置にそれぞれはめ込むことによりウエハWを把持し、この状態で前記ローラ34を回転させることで把持したウエハを自転させるウエハホルダの構成とする。
請求項（抜粋）：
半導体製造工程におけるウエハの外周部がはまり込む溝が外周に形成された複数のローラと、これらローラをウエハの外周部の複数位置に径方向外側からそれぞれはめ込み可能に軸支するローラ支持手段と、前記ローラを回転駆動するローラ駆動手段とを備え、前記ローラを前記ローラ支持手段によりウエハ外周の複数位置にそれぞれはめ込むことによりウエハを把持し、この状態で前記ローラ駆動手段により前記ローラを回転させることで把持したウエハを自転させることを特徴とするウエハホルダ。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G01N 1/28
, H01L 21/66
