面形状測定装置および面形状測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-356244
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174249
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】光ディスクの信号記録面等の円盤体の被測定面に存在する凹凸量やこの凹凸に起因するフォーカスサーボの追従誤差量を正確にかつ効率的に測定することができ、かつ、測定した凹凸量や追従誤差量からの面形状の把握が容易な面形状測定装置および面形状測定方法を提供する。【解決手段】光ディスクを回転させる回転手段と、光ディスク信号記録面に存在する凹凸によって発生する垂直方向の速度を検出する速度算出部73と、検出した速度データ、および、回転する光ディスクの信号記録面から垂直な方向の目標位置に対物レンズを追従させるフォーカスサーボ系のゲイン特性に基づいて、フォーカスサーボ系に発生すると予想される信号記録面の凹凸に対して追従できない追従誤差量を算出する追従誤差量算出部74とを有する。

請求項（抜粋）：

円盤体を回転させる回転手段と、回転する前記円盤体の被測定面内に存在する凹凸によって発生する当該被測定面の垂直方向の速度を検出する速度検出手段と、前記検出した速度データ、および、回転する前記円盤体の被測定面から垂直な方向の目標位置に所定の対象物を追従させるサーボ系のゲイン特性に基づいて、前記サーボ系に発生すると予想される前記被測定面の凹凸に対して追従できない追従誤差量を算出する追従誤差量算出手段とを有する面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/00 , G01B 11/00 , G11B 7/26

FI (3件)：

G01B 21/00 G , G01B 11/00 B , G11B 7/26

Fターム (56件)：

2F065AA01 , 2F065AA49 , 2F065BB03 , 2F065CC03 , 2F065DD03 , 2F065DD06 , 2F065FF31 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ18 , 2F065KK01 , 2F065LL02 , 2F065LL57 , 2F065MM04 , 2F065MM16 , 2F065MM26 , 2F065PP13 , 2F065PP21 , 2F065QQ21 , 2F065RR05 , 2F065SS12 , 2F065UU05 , 2F065UU06 , 2F069AA54 , 2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069BB17 , 2F069CC07 , 2F069DD15 , 2F069DD16 , 2F069DD19 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG15 , 2F069GG31 , 2F069GG39 , 2F069GG52 , 2F069GG56 , 2F069HH09 , 2F069JJ02 , 2F069JJ17 , 2F069MM04 , 2F069MM11 , 2F069MM23 , 2F069NN12 , 2F069PP02 , 2F069QQ05 , 5D121AA02 , 5D121CB08 , 5D121DD13 , 5D121GG02 , 5D121HH07 , 5D121HH08 , 5D121HH15 , 5D121HH18

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