特許
J-GLOBAL ID：200903018343191229

積層セラミック電子部品の製造方法

発明者：
重野 勝

重野 勝 について

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馬場 広之

馬場 広之 について

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細川 孝夫

細川 孝夫 について

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米田 康信

米田 康信 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 小柴 雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-181015
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015380
出願日： 1999年06月28日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 キャリアフィルムを位置決めした状態で、吸着ヘッドをカットテーブルから離隔させることによって、マザーセラミックグリーンシートから切り出された所定の寸法を有するセラミックグリーンシートをキャリアフィルムから剥離するにあたって、吸着ヘッドの吸着面による吸着力を強くすれば、確実な剥離が可能になるが、セラミックグリーンシートに損傷がもたらされやすい。【解決手段】 吸着ヘッド4の吸着面9によるセラミックグリーンシート8の吸着力を弱くしても確実かつ容易な剥離を可能とするため、剥離工程において、カットテーブル2のテーブル面7の周縁部に分布する周縁空気口12に負圧18を与えながら中央部に分布する中央空気口11に正圧19を与え、それによって、キャリアフィルム16の中央部が吸着ヘッド4に向かって膨れ出す状態の変形を生じさせ、線剥離の状態となるようにする。
請求項（抜粋）：
キャリアフィルムによって裏打ちされたマザーセラミックグリーンシートを用意する工程と、複数の空気口を分布させているカットテーブルのテーブル面上に、前記キャリアフィルムを介して、前記マザーセラミックグリーンシートを配置するとともに、前記マザーセラミックグリーンシートを位置決めするため、前記空気口に負圧を与えることによって、前記キャリアフィルムを位置決めする工程と、前記キャリアフィルムを位置決めした状態で、前記カットテーブルに対してカット刃を近接させることによって、前記マザーセラミックグリーンシートから所定の寸法を有するセラミックグリーンシートを切り出す工程と、前記キャリアフィルムを位置決めした状態で、その吸着面に負圧が与えられる吸着ヘッドを、切り出された前記セラミックグリーンシートに近接させることによって、前記セラミックグリーンシートを前記吸着面上に吸着する工程と、次いで、前記キャリアフィルムを位置決めした状態で、前記吸着ヘッドを前記カットテーブルから離隔させることによって、切り出された前記セラミックグリーンシートを、前記吸着ヘッドによって保持した状態とするため、前記キャリアフィルムから剥離する工程と、剥離された前記セラミックグリーンシートを、前記吸着ヘッドによって保持した状態で前記カットテーブルとは別の場所に位置される積み重ねテーブル上に搬送する工程と、前記位置決め工程、前記切り出し工程、前記吸着工程、前記剥離工程、および前記搬送工程を繰り返し実施することによって、複数の前記セラミックグリーンシートからなる積層体を得る工程とを備える、積層セラミック電子部品の製造方法であって、前記剥離工程において、前記カットテーブルのテーブル面上に分布されている複数の前記空気口の内、中央部に分布する中央空気口を通して与えられる吸引力が、周縁部に分布する周縁空気口を通して与えられる吸引力より弱められ、それによって、前記キャリアフィルムの中央部が前記吸着ヘッドに向かって膨れ出す状態の変形が生じやすいようにされることを特徴とする、積層セラミック電子部品の製造方法。
IPC (2件)：
H01G 4/30 311 ,  H01G 4/12 364
FI (2件)：
H01G 4/30 311 Z ,  H01G 4/12 364
Fターム (15件)：
5E001AB03 ,  5E001AH00 ,  5E001AH06 ,  5E001AJ02 ,  5E082AB03 ,  5E082BC38 ,  5E082FG06 ,  5E082FG26 ,  5E082LL01 ,  5E082LL02 ,  5E082MM11 ,  5E082MM12 ,  5E082MM13 ,  5E082MM21 ,  5E082MM23
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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