特許

J-GLOBAL ID：200903018345081293

走査電子顕微鏡の試料ホルダー

発明者： 樋岡 美紀子
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-048433
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250057
出願日： 1995年03月08日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 簡単な構成で試料を冷却して走査電子顕微鏡観察を行うことができる走査電子顕微鏡の試料ホルダーを実現する。【構成】 外側ホルダー1の内側に内側ホルダー4を配置し、内側ホルダー4の内部に冷却水5を入れ、更に試料載せ台6上に試料7を載せる。その後、ホルダーを走査電子顕微鏡の試料室内の試料ステージに取り付け、試料室内を真空に排気する。この結果、試料室内の真空度に応じて内側ホルダー4内の冷却水は気化し、この気化熱により試料載せ台6上の試料7は冷却される。

請求項（抜粋）：

外側ホルダーと、外側ホルダーに熱絶縁されて支持され、その中に冷却水が入れられる内側ホルダーと、内側ホルダー内に設けられた試料載せ台とを備えた走査電子顕微鏡の試料ホルダー。