特許

J-GLOBAL ID：200903018348263570

2波長干渉測長装置

発明者： 豊永 修司 ,  石田 明 ,  内川 清
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109870
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302809
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：

【要約】【目的】2波長に対する偏光ビームスプリッターの機能に差異がある場合にも、高精度な変位測定を可能にする。【構成】測長ビーム反射手段及び前記参照ビーム反射手段のそれぞれにより折り返され偏光ビーム分割手段から出射する互いに分離した2波長測長ビームと2波長参照ビームとの光路中において互いに直交する偏光成分のみを通過する一対の偏光手段を設けた。これにより各ビームの偏光状態が互いに完全に直交する直線偏光に揃えられ、偏光ビーム分割手段の偏光分離作用が2波長それぞれに対して完全ではなくとも、正確な測定が可能となる。

請求項（抜粋）：

同軸の2波長光ビームを発生する光源手段と、前記光源手段より得られる2波長入力ビームを互いにほぼ直交する偏光状態を有する2波長測長ビームと2波長参照ビームとに分割する偏光ビーム分割手段と、前記2波長測長ビームを前記2波長入力ビームと重ならないで前記偏光ビーム分割手段から出射するように折り返す測長ビーム反射手段と、前記2波長参照ビームを前記2波長測長ビーム反射手段により折り返され前記偏光ビーム分割手段から出射する2波長測長ビームに対して分離された状態でかつ前記2波長入力ビームと重ならないで出射するように折り返す固定の参照ビーム反射手段と、前記測長ビーム反射手段及び前記参照ビーム反射手段のそれぞれにより折り返され前記偏光ビーム分割手段から出射する互いに分離した2波長測長ビームと2波長参照ビームとの光路中において互いに直交する偏光成分のみを通過する一対の偏光手段と、前記一対の偏光手段を通過した2波長測長ビームと2波長参照ビームとを2波長単一出力ビームに変換するビーム合成手段と、前記2波長単一出力ビームをそれぞれの波長域に分離する波長域分離手段と、前記波長域分離手段により分離されたそれぞれのビームを干渉させて前記測長ビーム反射手段の変位量を検出する検出手段とを有することを特徴とする2波長干渉測長装置。